GB/T 11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件
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基本信息
| 标准名称： | 真空镀膜设备通用技术条件 |
| 英文名称： | Vacuum coating plant generic specification |
| 中标分类： | 机械 >> 通用零部件 >> 链传动、皮带传动与键联结 |
| ICS分类： | 流体系统和通用件 >> 真空技术 |
| 替代情况： | 替代GB/T 11164-1999 |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2011-11-21 |
| 实施日期： | 2012-06-01 |
| 首发日期： | 1989-03-31 |
| 作废日期： | |
| 主管部门： | 全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18) |
| 提出单位： | 中国机械工业联合会 |
| 归口单位： | 全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18) |
| 起草单位： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司、上海曙光机械制造厂有限公司、兰州真空设备有限责任公司、成都南光机器有限公司等 |
| 起草人： | 陈月增、谢钧荣、范立群、孙凯、温发兰、靳毅、刘强、惠进德、王学智 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2012-06-01 |
| 页数： | 12页 |
适用范围
本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。
本标准适用于压力在10-5 Pa~10-3 Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备。
前言
没有内容
目录
前言 Ⅰ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 技术要求 2 5 试验方法 4 6 检验规则 5 7 标志、包装、运输、贮存 5
引用标准
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
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所属分类： 机械 通用零部件 链传动 皮带传动与键联结 流体系统和通用件 真空技术
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